陕西光电子先导院先进光子器材工程立异渠道3月30日在西安高新区全面启用。该渠道具有光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项中心工艺，将为光子工业项目供给产品研制、中试、检测等全流程技术服务，为光子工业各类立异主体打通从产品研制到市场化批量供货的完好链条。
该渠道的启用，标志着陕西向打造具有全球影响力的光子工业生态高地的战略目标又迈出了坚实的一步，将招引更多光子工业立异要素会聚陕西，培养一批具有先发优势和全球竞争力的光子工业冠军企业，推进光子工业向集群化、规划化、高产量化开展。
记者从陕西光电子先导院了解到，先进光子器材工程立异渠道占地30亩，建有中试车间、中试大楼、综合楼和动力站等研制和中试配套设备，总建筑面积约30000平方米，洁净厂房3000平方米，一期专业设备100余台（套），具有以GaAs（砷化镓）、GaN（氮化镓）为主线英寸化合物芯片工艺服务才能的柔性中试渠道，以技术服务与工程代工相结合的方法，为光子工业孵化项目供给产品研制、中试、检测等全流程技术服务。
一起，先进光子器材工程立异渠道将有用处理第三代化合物半导体芯片制作的外延成长与制程等要害问题，为光电芯片、功率器材、射频器材等芯片规划企业、高校、科研院所供给外延成长、光刻、刻蚀、薄膜制备、清洗、减薄、抛光、划片等芯片制作全流程服务。
先进光子器材工程立异渠道经过与立异企业继续进行联合研制，光子芯片制程中的光刻、刻蚀、蒸镀等多项中心工艺技术不断霸占，渠道软硬件建造已不断完善，将继续助力光子工业链上下游企业集合。
中国科学院西安分院院长赵卫表明：“期望陕西光电子先导院先进光子器材立异渠道启用后，可以招引更多光子工业立异要素会聚陕西，攻关一批引领未来的要害中心技术，培养一批具有先发优势和全球竞争力的光子工业冠军企业，推进光子工业进一步向集群化、规划化开展。”
作为“追光方案”与“秦创原”效果转化及展示渠道，陕西光电子先导院活跃发挥陕西光子工业链“链主”企业效果，经过稀缺渠道资源+专业技术服务，为处理实验室无法工程化立异效果，而老练芯片代工厂又难以接受小量立异产品产出的两难局势，完结了有用的工程化联接。
2014年，赛富乐斯半导体科技有限公司研制出半极性氮化镓资料，并耗时三年走到量产阶段。但是，出产所需MOCVD（金属有机化学气相堆积）外延炉设备一台就要耗资上千万，一条光电子芯片产线造价数以亿计，这关于这家几乎没有营收的草创企业来说是简直是天文数字。2016年末，陕西光电子先导院自动提出让赛富乐斯按租借的方法运用设备，企业创始人陈辰来到西安实地观赏完出产线后，立刻决定将公司落户西安。2017年，赛富乐斯正式上线英寸半极性氮化镓资料，并从 2018年3月开端规划出产及出售，良率到达95%以上，成为全球首家可以量产工业级半极性氮化镓资料的企业。
现在，陕西光电子先导院已培养和集合了近百家光子工业企业，入驻光电子范畴企业30余家，其间一半以上为海归高端创业团队，例如耶鲁大学团队、龚平博士团队、张文伟博士团队、程东博士团队等，成为光子范畴一流的立异生态和立异高地，在全球光子工业中与国外坚持同步，开始抢占了光子工业“窗口期盈利”。
21 世纪被认为是“光子年代”。当时，全球 IT 工业正处在“从电子到光子”的代代转化过程中，光子工业有望成为 21世纪最具战略性、根底性、先导性的新兴工业。
陕西在光子工业方面具有显着优势。一方面，陕西具有中科院西安光机所、西电、西工大等一批光子学科完全、特征明显的大院大所和高校，科研效果丰盛。另一方面，陕西光子工业集群已初具规划，开始形成了光子制作、光子信息、光子传感等工业集群。一起陕西在光子技术工业范畴有着深沉的科研根底，高折射率硅光芯片、微纳光波导、光栅耦合器和VCSEL（笔直腔面发射激光器）激光器、半极性GaN（氮化镓）光电芯片衬底资料等方面处于职业领先水平。在国际新一轮科技革新和工业革新同我国改变开展方法的前史汇要害时期，为赢得先机，陕西推进施行了“追光方案”，抢抓光子工业高速增加的战略机会。
2015年10月，陕西省科技厅、西安高新技术开发区与中国科学院西安光机所联合建议成立了陕西光电子先导院。陕西光电子先导院先进光子器材立异渠道作为陕西省2022年要点建造工程，项目仅用6个月就完结主体封顶，12个月完结了机电工程，14个月完结中心设备搬入，16个月就完结渠道的正式启用，展示了 “追光速度”和“高新功率”。
未来，陕西光电子先导院将安身光子制作、光子资料与芯片、光子传感三大要点范畴，严密交融秦创原立异驱动渠道，在加速统筹策划“追光方案”的过程中，活跃探索光子范畴“新式制”的实践经验，引领光电职业开展，拥抱“光子年代”。
